수직 원통형의 Graphite 가열실 내부에 반응실 Muffle을 안착한 형태의 고온 진공로 장비로서, 기판 또는 섬유상 등의 카본계 모재를 Muffle 머플 하단의 턴테이블 위에 적재하고 진공 배기한 다음 머플을 1000 ~ 2400℃ 범위로 가열한 상태에서 원료가스(Precursor)를 머플 내부에 도입하여 압력을 분압으로 조절함으로써 원료가스의 열분해 및 반응을 통해 발생하는 PyC, SiC, B4C, TaC 등의 증기를 모재 표면 또는 내부에 박막으로 증착합니다.
2400℃ 초고온까지의
CVD 요구에 대응하는
Hot Zone
제품 적재조건에 따라
수평, 수직 Gas Flow
모두 가능
유지보수가 용이한
Muffle, Nozzle 및
배관 구조
가스공급 ~ 배기처리
Scrubber 전라인
Turn Key 공급
각부 수명/유지보수주기
연장을 위한 각종 고안
| 구분 | 사양 | 구분 | 사양 |
|---|---|---|---|
| 장비 형식 | 수평 또는 수직형 초고온 가스반응 진공로 | Retort Muffle 형식 | 다각조립형 Graphite 원통 |
| 장비 용도 | 세라믹 막 증착(CVD) 또는 치밀화 함침(CVI) | 공정 가스 | [MTS, CH4, TaCl4, HfCl4, BCl3-NH3], H2, N2, Ar |
| 합성 재료 | SiC, TaC, HfC, BN, (Pyrolitic) Carbon | 공정 압력 | 5KPa ~ 50KPa |
| 적재 공간 | 254L ~ 3532L | 진공배기 | Mechanical Booster Pump + Dry Pump |
| 사용 온도 | 고온형[Max. 1600℃], 초고온형[Max. 2400℃] | 제품 장입 | 승강식 하부도어 장입, 턴테이블 회전 |
| 온도 분포도 | ± 6~12℃ [1000℃, No Load, Vacuum] | 도어 잠금 방식 | 유압 클램프 잠금 방식 |
| 승온 속도 | 2~10℃/min | 배기 처리 | 응축 Trap, 분진 Filter, Scrubber |
| 온도 제어 | 열전대와 SCR에 의한 Multi Zone PID 제어 | 시스템 제어 | PLC Control, PC or Touch Panel Operation |
| 가열실 재료 | Graphite | Electric Power | AC 3Φ 또는 DC |
| 모델명 | TVCVD- HT0609 |
TVCVD- HT1015 |
TVCVD- HT1218 |
TVCVD- HT1520 |
|---|---|---|---|---|
| 장입규격 (mm) | Φ600 * 900H | Φ1000 * 1500H | Φ1200 * 1800H | Φ1500 * 2000H |
| 장입중량 (Kg) | 200 ~ 300 Kg | 550 ~ 700 Kg | 750 ~ 1,000 Kg | 1,000 ~ 1,300 Kg |
| 온도 분포도 | ±6℃ | ±8℃ | ±10℃ | ±12℃ |
| 가열전력 (KVA) | 360 KVA | 600 KVA | 750 KVA | 1,000 KVA |
| 모델명 | TVCVD- UT0609 |
TVCVD- UT1015 |
TVCVD- UT1218 |
TVCVD- UT1520 |
|---|---|---|---|---|
| 장입규격 (mm) | Φ600 * 900H | Φ1000 * 1500H | Φ1200 * 1800H | Φ1500 * 2000H |
| 장입중량 (Kg) | 200 ~ 300 Kg | 550 ~ 700 Kg | 750 ~ 1,000 Kg | 1,000 ~ 1,300 Kg |
| 온도 분포도 | ±6℃ | ±8℃ | ±10℃ | ±12℃ |
| 가열전력 (KVA) | 540 KVA | 940 KVA | 1,140 KVA | 1,440 KVA |