thermvac

COMPANY

구성원들의 긍정적인 에너지가 고객 서비스 향상으로 이어지고,
근로 의욕과 자아 성장이 맞닿아 가는 기업문화를 고민합니다.

주관 기관	정부 과제 수행 내용	수행 기간
	차세대 생산용 실리콘 Ingot Casting Furnace 개발	2010. 07 ~ 2012. 04
	철강부품 품질 고급화를 위한 친환경 열처리 공정기술 개발	2021. 04 ~ 2024.05
	Vertical/Horizontal 겸용 SiC CVD Pilot 장치 개발	2011. 05 ~ 2013. 04
	저항가열방식 기반 SiC 단결정 성장 장치 개발	2014. 07 ~2016. 06
	고순도 흑연 제조를 위한 초고온 고순화 처리 진공로 개발	2018. 05 ~ 2020. 04
	통합 최적설계를 이용한 고효율 초고온 진공로 설계 기술 개발	2002. 07 ~ 2004. 06
	Heater 연결봉 구조 건전성 평가	2004. 06 ~ 2004. 11

특허번호	특허명	등록일
10-0902859	태양전지용 실리콘 제조용 캐스팅 장치	2009. 06. 08
10-1095587	열유동 균일화 및 냉각 가속 모듈 부착형 고품위소결 열처리로	2011. 12. 12
10-1238375	가스반응장치	2013. 02. 22
10-1469107	태양전지용 실리콘 잉곳 제조장치 및 방법	2014. 11. 28
10-1524811	저항 가열방식을 이용한 단결정 승화장치 및 방법	2015. 05. 26
10-1627503	고온 진공 열처리로의 이송장치	2016. 05. 31
10-1634673	화합물 반도체의 벌크 단결정 제조 장치	2016. 06. 23
10-1741216	건조기	2017. 05. 23
10-1832723	진공 게이트 밸브	2018. 02. 21
10-1984084	엘이디 제조용 부품의 질화갈륨층 제거방법	2019. 05. 24
10-2283222	집합조직으로 구성된 전기강판 및 그의 제조방법	2021. 07. 23
10-2328768	고순도 분말 제조장치	2021. 11. 16
10-2497875	중공 막대상 물품을 열처리하기 위한 전기로	2023. 02. 06
10-2509142	반사판을 구비한 전기로	2023. 03. 08