CVD Sample 제작
서비스 내용
- SiC, TaC, PyC, B4C 등 세라믹 CVD 샘플 제작
장비 사양규격
| 구분 | 사양 | 구분 | 사양 |
|---|---|---|---|
| 최고사용온도 | 2400도 | 적재공간 | Φ400 * 600 H ㎜ |
| 공정가스 | Precursors, CH4, Cl2, H2, Argon, N2 | CVD 막 종류 | SiC, TaC, B4C, PyC, etc. |
| 사용압력 | 0.01 Torr ~ 760 Torr | 분압제어 | 10 ~ 500 Torr |
서비스 문의
- 이재규 연구원 : 010-8665-7513, ljg@thermvac.co.kr