超大型腔体制作 真空腔体 性能指标 - 气密性 - 垂直度 - 水平垂直度 加热室隔热材料 性能指标 - 膨胀自由度 - 放热最小化 - 热场稳定性 升降装置结构 性能指标 - 坚固性 - 直角精密度 - 稳定性